OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過(guò)程。用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制，用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測(cè)量，測(cè)量氧氣濃度，防止粉塵運(yùn)輸中粉塵爆炸。主要技術(shù)參數(shù)：測(cè)量對(duì)象：惰性氣體中的氧氣濃度(易燃性氣體、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外)測(cè)量系統(tǒng)：氧化鋯系統(tǒng)采樣方法：泵式、抽提式等樣氣條件 流速：200±25ml/min(僅適用于傳感器)溫度：0～50℃(無(wú)結(jié)露)濕度：無(wú)結(jié)露壓力：0～300PaG最大容許壓力：30kPaG測(cè)量量程：0～10ppmO2至0～100vol%O2輸出量程 自動(dòng)：0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%(默認(rèn))固定：設(shè)為0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100%部分：可設(shè)置下限值或上限值模擬輸出 2路輸出，第一路：4～20mADC(最大負(fù)載電阻550Ω)，第二路：可選為0～1，0～5，0～10VDC(負(fù)載電阻：10kΩ或更大) 接點(diǎn)輸出 報(bào)警輸出2點(diǎn)：錯(cuò)誤接點(diǎn)，O2濃度報(bào)警接點(diǎn)指定量程范圍輸出1點(diǎn)：接點(diǎn)輸出多選擇器(選配件)：流路切換接點(diǎn)輸出和測(cè)量中流路信息接點(diǎn)輸出接點(diǎn)輸入1點(diǎn)：采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程O(píng)N/OFF自診斷 故障：傳感器錯(cuò)誤，加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷開(kāi)，設(shè)備溫度錯(cuò)誤，CPU錯(cuò)誤，F(xiàn)AN停止串口通信：RS-232，38400bps標(biāo)定方法 (1)3點(diǎn)：10ppm，1000ppm，空氣，(2)2點(diǎn)：可設(shè)定為零點(diǎn)氣和量程氣標(biāo)定，(3)1點(diǎn)，(4)空氣標(biāo)定 暖機(jī)時(shí)間：20分以?xún)?nèi)電源：100～120VAC/220～240VAC，50/60Hz功耗：100～120VAC，200VA最大，220～240VAC，400VA最大尺寸：213(W)x132(H)x約375(D)mm質(zhì)量：約5kg管線(xiàn)連接氣體入口：Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋氣體出口：Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋環(huán)境條件安裝條件：室內(nèi)，盤(pán)裝或壁裝，非易燃區(qū)域環(huán)境溫度：0～40℃，無(wú)結(jié)露環(huán)境濕度：5～85%RH儲(chǔ)存溫度：-5～50℃重復(fù)性：±1%F.S.(10，100，1000ppm，1%，10%或100%)線(xiàn)性：±2%F.S.±3%F.S.(0～100ppm或更低)響應(yīng)時(shí)間：90%響應(yīng)10秒內(nèi)(0～1%或更高)30秒內(nèi)(小于0～1%)漂移：±2%F.S./周