概述SWPHF系列濺射薄膜式壓力變送器核心部件是SAABWELL與英國Senstronics（勝斯特）公司合作研發(fā)的濺射薄膜壓力敏感膜片，與擴散硅壓力敏感元件相比，該元件工作溫度范圍寬得多；另外由于膜片厚度大且沒有填充傳壓介質(zhì)，所以，對惡劣外界環(huán)境的耐受能力更強。該壓力變送器是專門為使用環(huán)境惡劣，且要求體積和重量小的應(yīng)用場合設(shè)計的。該系列產(chǎn)品量程齊全，電氣和機械接口形式多樣，適用于航空、航天、軍工、電力和石油等行業(yè)。 產(chǎn)品特點壓力敏感元件采用濺射工藝，在壓力介質(zhì)直接作用的17-4PH不銹鋼膜片上，以分子鍵合的方式制作出 微米 級的電阻膜。再 過微電子工藝制作出需要的惠斯登電橋，組成全金屬型敏感元件，無任何粘貼劑和活動件，無需密封腔和充油腔，因此具有適用惡劣環(huán)境和長期穩(wěn)定性工作的特點。產(chǎn)品使用17-4PH不銹鋼材料，其量程從5bar（0.5MPa）到2200bar（220MPa）。產(chǎn)品能 受106次的連續(xù)壓力作用。使用薄膜壓力的敏感元件制成的產(chǎn)品，在溫度環(huán)境下的精度優(yōu)于0.01%FS℃。傳感器系列產(chǎn)品和變送器系列產(chǎn)品在設(shè)計上考慮到滿足嚴格的電磁兼容條件，全部按照EN61000-2和EN61000-3標(biāo)準(zhǔn)， 受至少100v/m的電磁考驗。產(chǎn)品專用的ASIC電路給予特別的設(shè)計，以最大限度發(fā)揮薄膜傳感技術(shù)的潛能來滿足不同用戶的使用要求。產(chǎn)品能提供0～5V（三線制）；0.5～4.5V（三線制）；4～20mA（兩線制）輸出。工作原 理濺射式壓力敏感元件是在10級超凈間內(nèi)，通過微電子工藝制造出來的。即在高真空度中，利用磁控技術(shù)，將絕緣材料、電阻材料以分子形式淀積在彈性不銹鋼膜片上，形成分子鍵合的絕緣薄膜和電阻材料薄膜，并與彈性不銹鋼膜片融合為一體。再 過光刻、調(diào)阻，溫度補償?shù)裙ば?，在彈性不銹鋼膜片表面上形成牢固而穩(wěn)定的惠斯頓電橋。當(dāng)被測介質(zhì)壓力作用于彈性不銹鋼膜片時，位于另一面的惠斯頓電橋則產(chǎn)生正比于壓力的電輸出信號。將此信號 放大調(diào)節(jié)等處理。再配以適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)，就成為應(yīng)用于各個領(lǐng)域中的壓力傳感器和壓力變送器。 技術(shù)參數(shù)過壓范圍2 F.S爆破壓力10 F.S量程表壓0～0.5MPa～220MPa測量介質(zhì)氣體，液體精度等級0.1級,0.25級,0.5級環(huán)境溫度常溫型-40℃～85℃，寬溫型-55℃～125℃環(huán)境溫度影響零點 0.02%/℃，靈敏度 0.02%/℃環(huán)境濕度相對濕度為0～100%介質(zhì)溫度-40℃～+150℃負載電阻（ ）RL 50（Vs-13），其中Vs為電源電壓，單位為V穩(wěn)定性 0.25%/年電路殼體材料1Cr18Ni9Ti不銹鋼電路殼體防護等級IP65電路殼體密封圈氟橡膠工作電源13~36VDC輸出信號4～20mA（兩線制）；0～5V（三線制） ；0.5～4.5V（三線制）過程連接件材料316不銹鋼或1Cr18Ni9Ti不銹鋼膜片材料17－4PH不銹鋼