美國(guó)AALBORG公司GFC/GFM經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器GFC17/GFC37/GFC47/GFC57/GFC67/GFC77GFM17/GFM37/GFM47/GFM57/GFM67/GFM77產(chǎn)品特點(diǎn)：性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝1.不銹鋼構(gòu)造,滿量程流量范圍10sccm到1000slm2.最佳工作壓力25psig(1.73bars),最大入口壓力500psig(34.5bars)3.0~5vdc或4~20ma信號(hào)4.集成漏率1＊10-7sml/sec(he)5.精確度 1.5%f.s6.管路連接:1/4 1/8 3/8 1/2 3/4 Swagelok(可選VCR)7.電源12Vdc/24Vdc8.響應(yīng)時(shí)間:到達(dá)設(shè)定點(diǎn)2％所需時(shí)間＜2秒9.重復(fù)性:滿量程 0.5%范圍內(nèi)10.溫度范圍5-50℃(41-122℉)