概述:WYG2高溫壓力傳感器采用MEMS技術(shù)和SOI技術(shù),集成平膜壓力傳感器芯體,并采用先進的梁膜結(jié)構(gòu)設(shè)計,使其具有耐高溫及瞬時高溫沖擊的能力、動態(tài)頻率響應(yīng)高(最高可達到500KHz)、超高量程(可測量1000Mpa超高壓力),以及高過載(最大可承受滿量程20倍)等特點。 耐高溫壓力傳感器 為國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(863計劃)MEMS領(lǐng)域重點項目成果,并通過部級成果鑒定,擁有自主知識產(chǎn)權(quán)(發(fā)明專利:ZL01128782.9和ZL001.13961.4)。該壓力傳感器廣泛應(yīng)用于航空航天、國防、石油、化工、冶金、電力、船舶、汽車、醫(yī)藥、科研等領(lǐng)域?qū)Ω邷亓黧w的測量。特點:自主制造的微
機械加工耐高溫壓阻力敏芯片可長期在高溫下工作靈敏度高、長期穩(wěn)定性好動態(tài)頻響好高量程、高過載技術(shù)參數(shù):工作溫度:-40℃~200℃