四探針電阻率/方阻測(cè)試儀 KDK-KDY-1 KDK-KDY-1型四探針電阻率測(cè)試儀是嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(ASTMF84)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造,并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問題加以改進(jìn)。整套儀器有如下特點(diǎn):1、配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全過程中的電流變化,使操作更簡(jiǎn)便,測(cè)量更精確。數(shù)字電壓表量程:0 199.99mV 靈敏度:10 V 輸入阻抗:1000 0 9.999mV 靈敏度:1 V 輸入阻抗:10 基本誤差 (0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)2、可測(cè)電阻率范圍:0.001 6000 cm。3、設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過時(shí),電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測(cè)量電流渡過單晶時(shí),電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。4、流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定(萬分之幾精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響。電流量程分五檔:10 A、100 A、1mA、10mA、100mA。5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低(<5m )、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。6、可加配HQ-710E微處理機(jī)及打印機(jī),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、求平均值,計(jì)算并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。7、四探針頭采用國(guó)際上先進(jìn)的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測(cè)量重復(fù)性提高